並木地区・超高圧電顕棟110号室
イオン研磨装置
(Gatan社製:Model 591: PIPS)
・最高加速電圧:5kV
・イオン種:アルゴン
・CCDカメラ付属
・液体窒素による試料冷却機能付
・TEM試料作製(研磨)に使用
・導入時期:平成20年度