・加速電圧：300kV, 200kV, 100kV

・電子銃：冷陰極電界放出型電子銃（ Cold-FEG ）

・最小プローブ系：1 nm

・点分解能：0.2 nm

・エネルギー分光器：Gatan イメージングフィルター (GIF)
　　　　　　　　　　エネルギー分解能：0.27 eV

・特性X線分光器（EDX）：KEVEX

・試料ホルダー：室温高分解能用（サイドエントリー）
　　　　　　　　低温冷却用（液体窒素，サイドエントリー）
　　　　　　　　極低温冷却用（液体ヘリウム，２軸サイドエントリー）
　　　　　　　　極低温冷却用（液体ヘリウム，１軸サイドエントリー）
　　　　　　　　　　　　　　　　　（通電実験兼用）　
　　　　　　　　高温加熱用（サイドエントリー）

・検出系：フィルム，イメージングプレート，CCDカメラ

・導入年度：平成９年