・加速電圧：1300kV, 1000kV, 800kV, 600kV, 400 kV

・電子銃：ホウ化ランタン（LaB₆）

・点分解能：0.10 nm (1300kV)
　　　　　　0.12 nm (1000kV)
　　　　　　0.14 nm ( 800 kV)

・試料ホルダー：超高分解能用（トップエントリー）
　　　　　　　　低温冷却用（液体窒素，サイドエントリー）
　　　　　　　　極低温冷却用（液体ヘリウム，サイドエントリー）
　　　　　　　　高温加熱用（サイドエントリー）

・検出記録系：　フィルム
　　　　　　　　イメージングプレート
　　　　　　　　CCDカメラ（Gatan社製：TV-rate camera）

・導入年度：平成元年