・加速電圧：30kV

・イオン種：Ga

・W蒸着可能

・マイクロサンプリング機能付き

・試料ホルダーはローレンツ顕微鏡及び
　　　　　　　　分析電子顕微鏡でも使用可能　 　　

・導入年度：平成１０年